حكاكی لایه نازك sio2 وsi3n4

حكاكی لایه نازك sio2 وsi3n4

دانلود فایل

حكاكی لایه نازك sio2 وsi3n4 حکاکی لایه نازک SiO2 معمولاً بوسیله رقیق کردن یا Buffer کردن HF انجام می شود. حکاکی های PSG 10 بار سریع تر از اکسید رشد یافته حرارتی می باشد. حکاکی Anisotropic در مورد Si با استفاده از حکاکی پلاسما به کمک یون در ترکیبی از C2 F6و CH3F انجام می شود. قابلیت انتخاب روی Si خوب است، امّا روی Si3N4  خوب نیست .  حکاکی لایه نازک Si3N4 حکاکی کننده تر در دمای H3PO4,140 – 200OC   می باشد. SiO2حاصل از لایه نشانی بخار شیمیایی یک ماسک حکاکی خوب است. قابلیت انتخاب روی Si خیلی خوب است. حکاکی Anisotropic برای Si3N4 با استفاده از حکاکی پلاسما به کمک یون ( Ion assisted Plasma etching ) در ترکیبی از C2F6و CH3F انجام می شود. در میکروماشینینگ سطحی در میکرو ماشینینگ توده ای ساختارهای میکرونی به وسیله حکاکی توده ای از ویفر سیلیکون برای دستیابی به نتیجه دلخواه تشکیل می شوند. در میکروماشینینگ سطحی چندین لایه نازک روی ویفری یا هر زیر لایه مناسب دیگر قرار می گیرند. این لایه ها شامل یک ماده بنیادین مثل پلی سیلیکن و یک ماده قربانی ( Sacrifical ) مثل اکسید می باشند. این لایه ها به ترتیب لایه نشانی و حکاکی خشک می شوند. آخر سر ماده قربانی از طریق حکاکی تر حذف   می شود. لایه های بیشتر و ساختارهای پیچیده تر باعث سخت شدن فرآیند ساخت می شود. یک میله سگدست میکرو ماشین شده سطحی ساده در شکل 2 – 40 نشان داده شده است. یک لایه قربانی از اکسید روی سطح ویفر لایه نشانی شده، سپس یک لایه پلی سیلیکن لایه نشانی شده و با استفاده از روش های RIE به یک میله با یک Anchor pad الگو دهی می شود. ( شکل a ). سپس به وسیله یک حکاکی تر لایه اکسید زیر میله برداشته می شود ( شکل b ). Anchor pad از زیر Pad  برداشته شود، ویفر از حمام حکاکی بیرون می آید.

  • مقاله نسبتهای مالی ارزش زمانی پول

    دانلود مقاله اقتصاد,مقاله ارزش زمانی پول,مقاله نسبتهای مالی ارزش زمانی پول,نسبتهای مالی ارزش زمانی پول دانلود فایل مقاله نسبتهای مالی ارزش زمانی پول چکیده: حسابداران و نسبتهای مالی تجزیه و تحلیل مالی فرایندی است كه طی آن مشخصات و ویژگیهای…

  • تحقیق کمک پایان نامه رشته حقوق با عنوان حق دفاع متهم

    تحقیق کمک پایان نامه رشته حقوق با عنوان حق دفاع متهم,دانلود اندروید,دانلود پاورپوینت,دانلود پایان نامه,دانلود پرسشنامه,دانلود پروژه,دانلود تحقیق کمک پایان نامه رشته حقوق با عنوان حق دفاع متهم,دانلود طرح توجیهی,دانلود فایل,دانلود کتاب,دانلود گزارش کارآموزی,دانلود مقاله,دانلود نرم افزار,دانلود نمونه سوالات,کار در…

  • ورق کاری

    ورق کاری دانلود فایل ورق کاری مقدمه 5-1-1) دستگاه ها و تجهیزات 5-1-2 ) نگهدارنده ها و ثابت کننده ها 5-1-3) ابزار کار 5-1-4) ابزار و دستگاههای اندازه گیری  5-1-5 ) شابلون ها و بلوک های آزمایش 5-2) صاف و…

  • تحلیل محتوای کتابهای جغرافی دورة راهنمایی

    تحلیل محتوای کتابهای جغرافی دورة راهنمایی,دانلود آهنگ,دانلود اندروید,دانلود پاورپوینت,دانلود پایان نامه,دانلود پرسشنامه,دانلود پروژه,دانلود تحقیق,دانلود تحلیل محتوای کتابهای جغرافی دورة راهنمایی,دانلود سریال,دانلود فایل,دانلود فیلم,دانلود کتاب,دانلود مدیریت,دانلود مقاله,دانلود نرم افزار,دانلود نمونه سوالات,کار در منزل,کسب درآمد اینترنتی دانلود فایل تحلیل محتوای کتابهای جغرافی…

  • مبانی نظری و پیشینه خواب و اختلال خواب

    مبانی نظری و پیشینه خواب و اختلال خواب دانلود فایل مبانی نظری و پیشینه پژوهش خواب و اختلال خواب در 34 صفحه ورد قابل ویرایش با فرمت docx توضیحات: فصل دوم پایان نامه کارشناسی ارشد (پیشینه و مبانی نظری پژوهش)…

  • پایان نامه بررسی رابطه‌ی عوامل اجتماعی با میزان آگاهی سیاسی زنان شهر گرمی

    آگاهی سیاسی زنان شهر گرمی,بررسی رابطه‌ی عوامل اجتماعی با میزان آگاهی سیاسی زنان شهر گرمی,پایان نامه بررسی رابطه‌ی عوامل اجتماعی با میزان آگاهی سیاسی زنان شهر گرمی,پایان نامه کارشناسی ارشد در رشته علوم اجتماعی دانلود فایل  پایان نامه  کارشناسی ارشد…

  • پاورپوینت استراتژیهای تحول سازمانی

    استراتژی تغییر تكنولوژی,استراتژی تغییر ساختاری,استراتژی تغییر نیروی انسانی,استراتژی تغییر وظایف و كاركردها,اعمال تغییر در سطوح چهارگانه,پاورپوینت استراتژیهای تحول سازمانی,تغییر مشاركت‌جویانه,دانلود پاورپوینت استراتژیهای تحول سازمانی,سطوح تغییر در نیروی انسانی دانلود فایل عنوان: پاورپوینت استراتژیهای تحول سازمانی فرمت: پاورپوینت (PowerPoint)، قابل ویرایش…

  • بانكداری الكترونیك و سیرتحول آن در ایران

    بانكداری الكترونیك و سیرتحول آن در ایران,دانلود آهنگ,دانلود اندروید,دانلود پاورپوینت,دانلود پایان نامه,دانلود پرسشنامه,دانلود پروژه,دانلود سریال,دانلود فایل,دانلود فیلم,دانلود مقاله,دانلود مقاله بانكداری الكترونیك و سیرتحول آن در ایران,دانلود نرم افزار,دانلود نمونه سوالات,کار در منزل,کسب درآمد اینترنتی دانلود فایل دانلود مقاله بانكداری الكترونیك…

  • مبانی نظری و پیشینه رضایت مشتری

    مبانی نظری و پیشینه رضایت مشتری دانلود فایل مبانی نظری و پیشینه پژوهش رضایت مشتری (فصل دوم) رضایت مشتری مقدمه در محیط کسب و کار امروز که پیچیدگی و رقابتی شدن آن روز­افزون است، رضایت مشتری در حال تبدیل شدن…

  • پایان نامه بررسی رابطه بین سرمایه اجتماعی و سیستم مدیریت استعداد

    پایان نامه بررسی رابطه بین سرمایه اجتماعی و سیستم مدیریت استعداد دانلود فایل [1]

  • پایان نامه بررسی ادله اثبات دعوی

    اثبات,ادله,پایان نامه بررسی ادله اثبات دعوی,پروژه بررسی ادله اثبات دعوی,تحقیق بررسی ادله اثبات دعوی,دانلود پایان نامه بررسی ادله اثبات دعوی,دعوی,مقاله بررسی ادله اثبات دعوی دانلود فایل [2]

  • دانلود پاورپوینت مالیات بر سود

    دانلود پاورپوینت مالیات بر سود,مالیات سود دانلود فایل تئوری حسابداریمالیات بر سود در حسابداری مالی توضیحاتی از فایل (دو اسلاید برای نمونه): žمقدمه: در مواردی بین اصول حسابداری و حوزه های همجوار افتراق وجود دارد نباید انتظار داشته باشیم که…

  • آموزش جامع و کاربردی کار با نرم افزار Adobe in Design CC

    آموزش جامع و کاربردی کار با نرم افزار Adobe in Design CC,دانلود,دانلود آموزش جامع و کاربردی کار با نرم افزار Adobe in Design CC,دانلود اندروید,دانلود پاورپوینت,دانلود پایان نامه,دانلود پرسشنامه,دانلود پروژه,دانلود طرح توجیهی,دانلود فایل,دانلود کتاب,دانلود گزارش کارآموزی,دانلود مقاله,دانلود نرم افزار,دانلود نمونه…

  • مقاله بررسی حقوق بازرگانی

    پروژه بررسی حقوق بازرگانی,تحقیق بررسی حقوق بازرگانی,دانلود تحقیق بررسی حقوق بازرگانی,مقاله بررسی حقوق بازرگانی دانلود فایل مقاله بررسی حقوق بازرگانی در 52 صفحه ورد قابل ویرایش  بسمه تعالی حقوق بازرگانی تعریف حقوق تجارت یا حقوق بازرگانی: -    مجموعه قواعدی است…

  • پایان نامه بررسی اضطراب و افسردگی در بین معلمان مدارس

    اضطراب,افسردگی,پایان نامه بررسی اضطراب و افسردگی در بین معلمان مدارس,پروژه بررسی اضطراب و افسردگی در بین معلمان مدارس,تحقیق بررسی اضطراب و افسردگی در بین معلمان مدارس,دانلود پایان نامه بررسی اضطراب و افسردگی در بین معلمان مدارس,مدارس,معلمان,مقاله بررسی اضطراب و افسردگی…

  • تحقیق در مورد داوری در قراردادهای بیمه

    بیمه,تحقیق در مورد داوری در قراردادهای بیمه,دانلود مقاله داوری در قراردادهای بیمه,قراردادهای بیمه,مقاله داوری در قراردادهای بیمه دانلود فایل داوری در قراردادهای بیمه مروزه كمتر كسی را می توان یافت كه تجربه مراجعه به شركتهای بیمه برای خرید بیمه نامه…

  • تجربیات مدون مدیریت جهت ارتقا شغلی فرهنگیان

    تجربیات مدون مدیریت جهت ارتقا شغلی خبره و عالی,تجربیات مدون مدیریت جهت ارتقا شغلی فرهنگیان,دانلود آهنگ,دانلود اندروید,دانلود پاورپوینت,دانلود پایان نامه,دانلود پرسشنامه,دانلود پروژه,دانلود تحقیق,دانلود سریال,دانلود فایل,دانلود فیلم,دانلود کتاب,دانلود مدیریت,دانلود مقاله,دانلود نرم افزار,دانلود نمونه سوالات,کار در منزل,کسب درآمد اینترنتی دانلود فایل تجربیات…

  • مقاله مکانیک کلاسیک (Classical Mechanics)

    مقاله مکانیک کلاسیک (Classical Mechanics) دانلود فایل مقاله مکانیک کلاسیک (Classical Mechanics) نگاه اجمالی: مکانیک کلاسیک یکی از قدیمیترین و آشناترین شاخه‌های فیزیک است. این شاخه با اجسام در حال سکون و حرکت ، و شرایط سکون و حرکت آنها…

  • طرح توجیهی مخزن CNG موتورسیکلت

    طرح توجیهی مخزن CNG موتورسیکلت دانلود فایل طرح توجیهی مخزن CNG موتورسیکلت فهرست مطالب معرفی محصول -۱ نام و کد محصول -۱-۲ شماره تعرفه گمرکی -۱ شرایط واردات -۱-۴ بررسی و ارائه استاندارد ملی -۱-۵ بررسی و ارئه اطلاعات لازم…

  • پایان نامه نظام کیفری ایران باستان

    پایان نامه نظام کیفری ایران باستان دانلود فایل پایان نامه نظام کیفری ایران باستان نظام كیفری ایران باستان سومر   حدود 7 هزار سال پیش در جنوب بین النهرین كشوری بود به نام سومرا كه از سرزمین هایی دیگر مهاجرت…

  • پژوهش تأثیر تلویزیون بر مهارتهای گفتاری کودکان و نوجوانان

    پژوهش تأثیر تلویزیون بر مهارتهای گفتاری کودکان و نوجوانان,تحقیق تأثیر تلویزیون بر مهارتهای گفتاری کودکان و نوجوان,تلویزیون و اجتماع,تلویزیون و کودک,دانلود پایان نامه تاثیر تلویزیون بر مهارت,دانلود پروژه تاثیر تلویزیون بر مهارتهای گفتاری کودکان و نوجوان,دانلود تحقیق تاثیر تلویزیون بر…

  • مقاله مصرف آب در کشاورزی

    پایان نامه مصرف آب در کشاورزی,پروژه مصرف آب در کشاورزی,تحقیق مصرف آب در کشاورزی,درباره مصرف آب در کشاورزی,مصرف آب در کشاورزی,مقاله مصرف آب در کشاورزی دانلود فایل مقاله مصرف آب در کشاورزی خلاصه گزارش با توجه به اهمیت مصرف آب…

  • كارآموزی بیمه ایران

    كارآموزی بیمه ایران دانلود فایل كارآموزی  بیمه ایران فهرست فصل اول: مقدمه مقدمه......................................................................................................................................................................................1 محل كار آموزی...............................................................................................................................................................2   تاریخچه بیمه...............................................................................................................................................................3 تاریخچه بیمه ایران ......................................................................................................................................................5 مجوز قانونی تأسیس شرکت سهامی بیمه ایران........................................................................................................5 صاحبان سهام و مؤسسان شرکت..................................................................................................................................6 استخدام نیروی متخصص....................................................................................................................................................7 تهیه مکان…

  • پرسشنامه وسواس فکری - عملی سالکووسکیس (1998) (OCI)

    پرسشنامه وسواس فکری - عملی سالکووسکیس (1998) (OCI) دانلود فایل پرسشنامه وسواس فکری - عملی سالکووسکیس (1998) (OCI) این پرسشنامه با اجازۀ پل سالکووسکیس  بازسازی شده است و برای اولین بار در سال 1998 چاپ شده است.عبارات زیر منعکس کنندۀ…

  • کارآفرینی مراحل تولید قند کارخانه چناران

    کارآفرینی مراحل تولید قند کارخانه چناران دانلود فایل کارآفرینی مراحل تولید قند کارخانه چناران قسمتی از متن: پیشگفتار:  امروزه در شاخه صنایع غذای قتد به عنوان یکی از محصولات استراتژیک در دنیا شناخته شده است انرژی زیاد در مقدار کمی…

  • پروژه کارآفرینی احداث باشگاه ورزشی(با ظرفیت پذیرش 2600 هنرجو در سال)

    پروژه کارآفرینی احداث باشگاه ورزشی(با ظرفیت پذیرش 2600 هنرجو در سال),پروژه کارافرینی احداث باشگاه ورزشی(با ظرفیت پذیرش 2600 هنرجو در سال),دانلود پروژه احداث باشگاه ورزشی(با ظرفیت پذیرش 2600 هنرجو در سال),دانلود کارآفرینی احداث باشگاه ورزشی(با ظرفیت پذیرش 2600 هنرجو در…

  • مقاله بررسی اوقات فراغت کودکان و نوجوانان شهرستان درسال 1392

    مقاله بررسی اوقات فراغت کودکان و نوجوانان شهرستان درسال 1392 دانلود فایل مقاله بررسی اوقات فراغت کودکان و نوجوانان شهرستان درسال 1392 این مقاله در 28 صفحه تهیه و تنظیم شده است . فهرست مطالب : عنوان                                                                                                                             صفحه مقدمه.............................................................................................................................................................................…

  • ازدواج ـ انگیزه 29 ص

    ازدواج,ازدواج ـ انگیزه,ازدواج ـ انگیزه 29 ص,ازدواج از نظر اسلام,انگیزه دانلود فایل ازدواج از نظر اسلام حضرت محمّد(ص)فرمود: هیچ كانونی در اسلام بر پا نشده است كه نزد خداوند از كانون ازدواج محبوب تر و عزیزتر باشد.در بینش اسلامی، مقصود…

  • گزارش کارآموزی شرکت SKK یكی از معتبرترین تولید كنندگان پوششهای ساختمانی

    پوششهای ساختمانی,تولید كننده,دانلود گزارش کارآموزی شرکت SKK یكی از معتبرترین تولید كنندگان پوششهای ساختمانی,شرکت SKK,کاراموزی شرکت SKK یكی از معتبرترین تولید كنندگان پوششهای ساختمانی,کارورزی شرکت SKK یكی از معتبرترین تولید كنندگان پوششهای ساختمانی,گزارش کارآموزی شرکت SKK یكی از معتبرترین تولید…

  • طرح توجیهی پرورش اردك مادر به ظرفیت 5000 قطعه در سال

    5000 قطعه در سال,به ظرفیت,طرح توجیهی پرورش اردك مادر,طرح توجیهی پرورش اردك مادر به ظرفیت 5000 قطعه در سال دانلود فایل تهیه شده در سال 1385 بسمه تعالی وزارت تعاون معاونت طرح و برنامه دفتر امور اقتصادی و تسهیلات بانكی…

  • پایان نامه هوش هیجانی مدیران پرستاری و سبک رهبری تحول آفرین در بیمارستان امام خمینی

    پایان نامه هوش هیجانی مدیران,پایان نامه هوش هیجانی مدیران پرستاری و سبک رهبری تحول آفرین در بیمارستان امام خمینی,سبک رهبری تحول آفرین در بیمارستان امام خمینی,هوش هیجانی مدیران پرستاری دانلود فایل پایان نامه هوش هیجانی مدیران پرستاری و سبک رهبری…

  • پرسشنامه سبکهای دفاعی(DSQ) اندروز و همکاران 1993

    پرسشنامه سبکهای دفاعی(DSQ) اندروز و همکاران 1993 دانلود فایل پرسشنامه سبکهای دفاعی(DSQ) اندروز و همکاران 1993 توضیح : ویژگی پرسشنامه (بطور خلاصه) : تعداد گویه ها : تعداد مولفه :   روایی و پایایی :   نحوه نمره گذاری :…

  • مقاله ماشینهای نساجی

    مقاله ماشینهای نساجی دانلود فایل مقاله ماشینهای نساجی مقدمه: پیشرفت تكنولوژی نساجی در چند سال گذشته به اندازه ای چشمگیر و تغییرات تكنیكی آن به قدری متنوتع بوده است كه می توان به جرأت ان را به عنوان دومین تحول…

  • پایان نامه بررسی زبان شناختی اسم مرکب فعلی در زبان فارسی و انگلیسی

    پایان نامه بررسی زبان شناختی اسم مرکب فعلی در زبان فارسی و انگلیسی دانلود فایل پایان نامه بررسی زبان شناختی اسم مرکب فعلی در زبان فارسی و انگلیسی اهمیت و ضرورت تحقیقاهداف تحقیقهدف کلیاهداف جزئیفرضیه های تحقیقاصطلاحات و مفاهیم کلیدیفصل…

  • مقاله آموزش با روشهای تغییر رفتار

    آموزش به کمک روشهای تغییر رفتار,مقاله آموزش با روشهای تغییر رفتار دانلود فایل آموزش به کمک روشهای تغییر رفتار آموزش به کمک روشهای تغییر رفتار برنامه تغییر رفتار تعیین هدف تعیین وضع فعلی رفتار و رسم خط پایه انتخاب روش…